Περιγραφή
Περιγραφή
Το MOCVD Graphite Susceptor είναι ένα κρίσιμο συστατικό στα συστήματα Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD). Χρησιμεύει ως μια θερμικά αγώγιμη πλατφόρμα υψηλής-θερμοκρασίας που έχει σχεδιαστεί για να συγκρατεί με ασφάλεια και να θερμαίνει ομοιόμορφα τα υποστρώματα ημιαγωγών κατά την επιταξιακή ανάπτυξη των λεπτών μεμβρανών.
συσκευασία και παράδοση
Ξύλινο κουτί συσκευασία
χαρακτηριστικό
- Εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα για γρήγορη και ομοιόμορφη μεταφορά θερμότητας
- Υψηλή μηχανική αντοχή και σταθερότητα διαστάσεων κάτω από ακραίες συνθήκες
- Λεία, επεξεργασμένη με ακρίβεια επιφάνεια για σταθερή τοποθέτηση υποστρώματος
- Σχεδιασμένο για να επηρεάζει τη δυναμική ροής αερίου και τις θερμικές κλίσεις
πλεονέκτημα
- Εξασφαλίζει ομοιόμορφο πάχος φιλμ και ανώτερη κρυσταλλική ποιότητα στο epi-στρώμα
- Επιτρέπει υψηλή επαναληψιμότητα και απόδοση της διαδικασίας μέσω σταθερού ελέγχου θερμοκρασίας υποστρώματος
- Παρατείνει τη διάρκεια ζωής και μειώνει τη μόλυνση από σωματίδια λόγω της αντοχής στη διάβρωση
- Διατηρεί τη δομική ακεραιότητα παρά τους επαναλαμβανόμενους θερμικούς κύκλους, διασφαλίζοντας την αξιοπιστία της διαδικασίας
εφαρμογή
- Χρησιμοποιείται κυρίως σε αντιδραστήρες MOCVD για την επιταξιακή ανάπτυξη στρωμάτων σύνθετων ημιαγωγών (π.χ. GaN, GaAs, InP) σε υποστρώματα όπως πυρίτιο, καρβίδιο του πυριτίου ή ζαφείρι.
- Απαραίτητο για την κατασκευή οπτοηλεκτρονικών συσκευών (LED, διόδους λέιζερ) και ημιαγωγών ισχύος ραδιοσυχνοτήτων (RF).
Δημοφιλείς Ετικέτες: Υποδοχέας γραφίτη, Κίνα κατασκευαστές δεκτών γραφίτη, προμηθευτές, εργοστάσιο